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◆ 山形県工業技術センター 電子情報システム部のご紹介

 当部では、電気・電子、光計測、MEMS(微小電気機械システム)、 情報研究の各分野に関する研究開発、技術指導・相談、 受託試験などにより県内製造業の技術力向上や新製品開発のための支援を行っています。 
 電気・電子、光計測分野では、光断層画像化法(OCT)を用いた3次元精密形状計測技術の開発に取り組んでいます。
 MEMS分野では、光計測用可動グレーティングや多機能小型センサ素子及び実装パッケージの開発、MEMSプロセスを応用した金型加工技術の応用に取り組んでいます。また、従来の真空装置を用いた半導体製造技術だけでなく、新たな取り組みとして塗布積層型のMEMSプロセスの構築及びデバイス開発も目指しています。
 情報研究分野では、組込みシステム技術のほか、 オープンソース・ソフトウェア、ビッグデータのための大規模分散情報処理システムの開発などIT活用に関する研究、センサネットワークシステム(IEEE1888対応)の構築と実証および技術相談への対応、人材育成などを行っています。また、製造現場での電力等測定として、無線型電力測定器を持ち込み、生産現場のエネルギー使用の合理化支援を行っています。

             
   OCTによる3次元計測画像      クリーンルーム内での      製造現場での電力測定
                         フォトリソグラフィー作業
平成29年度 主要事業
事業名 センサーネットワークによる情報収集システム開発
概 要 MEMSの複合センサーを使用した情報収集システムの開発
 
事業名 共振型マルチモーダルセンサの開発
概 要 サービスロボットに搭載可能なガスやにおい成分を計測するシリコン共振型マルチモーダルガスセンサを開発
 
事業名 超上流からのロボット設計技術の開発
概 要 ロボットの導入の成否を分ける超上流工程の改善のため、ロボット固有の検討項目に対する要求を的確に把握し、コストを勘案して仕様に反映する設計技術を開発
 
事業名 人工知能を応用した認識・予測手法の確立
概 要 人工知能を応用した、画像・計測データなどの認識・予測手法を確立と自動化を開発
 
事業名 ヘルスケアセンサ向け非真空ビルドアップMEMSプロセスの開発
概 要 ウェアラブルヘルスケアセンサ試作と非真空ビルドアップ型電子デバイス作成技術の開発
 
事業名 光計測による錠剤用徐放膜管理システム開発
概 要 錠剤の徐放膜の評価は、現在、数時間かかる溶出試験でしか評価できないため、光計測(OCT計測)を用い溶出時間の推定を実現

試験・研究・技術相談
  • 電気・電子・光技術に関すること
    電気・電子計測、画像処理
  • コンピュータ応用技術に関すること
    オープンソースソフトウェア、組込みソフトウェア
  • MEMS技術に関すること
    フォトリソグラフィー、エッチング、薄膜形成、センサ
受託試験 (主な項目)
  • 機器分析
    電子顕微鏡写真
  • マイクロマシニング加工
    スピンコート、スパッタリング、フォトリソグラフィー等
設備使用 (主な項目)
  • MEMS関係
    レーザー描画装置、スピンコーター、両面マスクアライナ、
    スパッタリング装置、真空蒸着装置、酸化拡散炉、
    プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置、
    ダイシングソー、ワイヤボンダ、光学式膜厚計 等
  • 電気・電子関係
    電気計測機器、環境試験機、熱画像解析装置 等

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